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電器出產職業(yè)半導體制作工藝有機廢氣處理設備

來源:未知 ?? 作者: admin; 發(fā)布日期:2022-08-09 17:03

電器出產職業(yè)半導體制作工藝有機廢氣處理設備
 
1、電子職業(yè)出產廠家處理有機廢氣和毒氣的處理方法
 
現在,半導體制作進程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)通常選用直接燃燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。
 
2、針對電子廠廢氣處理半導體職業(yè)有機廢氣和毒性氣體的管理,低溫等離子廢氣處理技能的凈化原理是:
 
將普通的220V/380V交流電經過變壓器,變頻器轉換為高頻高壓的電壓,發(fā)生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子損壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵,斷開這些化學鍵從而發(fā)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結合構成二氧化碳,氧原子和氫原子結合構成水分子,終究發(fā)生排放到***氣中的氣體為無污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。
 
3、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技能具有以下長處:
 
放電發(fā)生的低溫等離子體中,電子能量高,幾乎能夠和所有的惡臭氣體分子效果。
 
反響快,不受氣速限制。
 
選用防腐蝕材料。
 
只需用電,操作極為簡略。
 
設備發(fā)動、停止十分迅速,隨用隨開,常溫常壓下即能運用。
 
氣阻小,適用于***風量的廢氣處理設備。
 
4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技能應用***域:集成電路出產企業(yè)、分立器材出產企業(yè)、光電組件出產企業(yè)。
 
5、半導體企業(yè)廢氣排放***征分析
 
半導體職業(yè)廢氣排放具有排氣量***、排放濃度小的***點。
 
6、半導體職業(yè)有機廢氣和毒氣的來源
 
半導體制作工藝發(fā)生的揮發(fā)性有機廢氣,主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序,與半導體制作工藝比較,半導體封裝工藝發(fā)生的有機廢氣較為簡略,主要為晶粒張貼、封膠后烘烤進程發(fā)生的烘烤廢氣。
 
 
 

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