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電器出產(chǎn)職業(yè)半導(dǎo)體制作工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備

來源:未知 ?? 作者: admin; 發(fā)布日期:2022-08-09 17:03

電器出產(chǎn)職業(yè)半導(dǎo)體制作工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備
 
1、電子職業(yè)出產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法
 
現(xiàn)在,半導(dǎo)體制作進(jìn)程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣(voc)通常選用直接燃燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。
 
2、針對(duì)電子廠廢氣處理半導(dǎo)體職業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的管理,低溫等離子廢氣處理技能的凈化原理是:
 
將普通的220V/380V交流電經(jīng)過變壓器,變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓,發(fā)生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子損壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵,斷開這些化學(xué)鍵從而發(fā)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合構(gòu)成二氧化碳,氧原子和氫原子結(jié)合構(gòu)成水分子,終究發(fā)生排放到***氣中的氣體為無污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。
 
3、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技能具有以下長處:
 
放電發(fā)生的低溫等離子體中,電子能量高,幾乎能夠和所有的惡臭氣體分子效果。
 
反響快,不受氣速限制。
 
選用防腐蝕材料。
 
只需用電,操作極為簡略。
 
設(shè)備發(fā)動(dòng)、停止十分迅速,隨用隨開,常溫常壓下即能運(yùn)用。
 
氣阻小,適用于***風(fēng)量的廢氣處理設(shè)備。
 
4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技能應(yīng)用***域:集成電路出產(chǎn)企業(yè)、分立器材出產(chǎn)企業(yè)、光電組件出產(chǎn)企業(yè)。
 
5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放***征分析
 
半導(dǎo)體職業(yè)廢氣排放具有排氣量***、排放濃度小的***點(diǎn)。
 
6、半導(dǎo)體職業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來源
 
半導(dǎo)體制作工藝發(fā)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣,主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序,與半導(dǎo)體制作工藝比較,半導(dǎo)體封裝工藝發(fā)生的有機(jī)廢氣較為簡略,主要為晶粒張貼、封膠后烘烤進(jìn)程發(fā)生的烘烤廢氣。
 
 
 

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